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伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統(tǒng)中作為執(zhí)行元件。在伺服系統(tǒng)中，液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)同電氣及氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動(dòng)平穩(wěn)、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。另一方面，在伺服系統(tǒng)中傳遞信號(hào)和校正特性時(shí)多用電氣元件。因此，現(xiàn)代高性能的伺服系統(tǒng)也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統(tǒng)的必需元件。

ATOS比例閥的主要型號(hào)如下：

QVHZO-A-0653-S5/O/PE
QVHZO-A-0653-S5/O/BT

QVHZO-A-0653-S5/Y/PE
QVHZO-A-0653-S5/Y/BT

QVHZO-A-0653-S3/MV/PT

QVHZO-A-0653-S3/MO/BT

QVHZO-A-0653-S3/BMV/PE
QVHZO-A-0653-S3/BMV/BT

QVHZO-A-0653-S3/Y/BT

LIRZO-AES-BP-5/50/P/6/PE

LIRZO-AEB-BC-5/50/P/6/PE
LIRZO-AES-BC-5/50/P/6/PE

LIMZO-AES-NP-6/50/P/6/PE

LIMZO-AEB-BP-6/50/P/6/PE
LIMZO-AES-BP-6/50/P/6/PE

LIMZO-AEB-BC-6/50/P/6/PE
LIMZO-AES-BC-6/50/P/6/PE

LIMZO-AEB-EH-6/50/P/6/PE
LIMZO-AES-EH-6/50/P/6/PE

伺服閥結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，造價(jià)高，對(duì)油的質(zhì)量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點(diǎn)，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結(jié)構(gòu)大為簡(jiǎn)化。另一個(gè)方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數(shù)。利用這一性質(zhì)就可通過電信號(hào)直接控制油流。

典型的伺服閥由永磁力矩馬達(dá)、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。當(dāng)輸入線圈通入電流伺服閥時(shí)，檔板向右移動(dòng)，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強(qiáng)，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時(shí)使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動(dòng)。高壓油從S流向C2，送到負(fù)載。負(fù)載回油通過 C1流過回油口，進(jìn)入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達(dá)的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達(dá)的差動(dòng)電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類。

伺服閥結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，造價(jià)高，對(duì)油的質(zhì)量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點(diǎn)，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結(jié)構(gòu)大為簡(jiǎn)化。另一個(gè)方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數(shù)。利用這一性質(zhì)就可通過電信號(hào)直接控制油流。

單向閥是流體只能沿進(jìn)水口流動(dòng)，出水口介質(zhì)卻無法回流，俗稱單向閥。單向閥又稱止回閥或逆止閥。用于液壓系統(tǒng)中防止油流反向流動(dòng),或者用于氣動(dòng)系統(tǒng)中防止壓縮空氣逆向流動(dòng)。單向閥有直通式和直角式兩種。直通式單向閥用螺紋連接安裝在管路上。直角式單向閥有螺紋連接、板式連接和法蘭連接三種形式。

單向閥又稱止回閥或逆止閥。用于液壓系統(tǒng)中防止油流反向流動(dòng),或者用于氣動(dòng)系統(tǒng)中防止壓縮空氣逆向流動(dòng)。單向閥有直通式和直角式兩種。直通式單向閥用螺紋連接安裝在管路上。直角式單向閥有螺紋連接、板式連接和法蘭連接三種形式。液控單向閥也稱閉鎖閥或保壓閥，它與單向閥相同，用以防止油液反向流動(dòng)。但在液壓回路中需要油流反向流動(dòng)時(shí)又可利用控制油壓，打開單向閥，使油流在兩個(gè)方向都可流動(dòng)。液控單向閥采用錐形閥芯，因此密封性能好。在要求封閉油路時(shí)，可用此閥作為油路的單向鎖緊而起保壓作用。液控單向閥控制油的泄漏方式有內(nèi)泄式和外泄式二種。在油流反向出口無背壓的油路中可用內(nèi)泄式；否則需用外泄式，以降低控制油壓力。

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